陜西光電子先導(dǎo)院先進光子器件工程創(chuàng)新平臺3月30日在西安高新區(qū)全面啟用。該平臺具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝，將為光子產(chǎn)業(yè)項目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測等全流程技術(shù)服務(wù)，為光子產(chǎn)業(yè)各類 ... 查看全文
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